• 可在耐热＋100℃的高温环境下使用 

• 由于头部无内置电气部件，因此可以在无法安装微型槽型光电传感器的环境使用。

• U字形状，投、受光部一体，安装简单，无需光轴校准。

清洗液供给的阀门开关检测

由于是头部不使用电气部件的光纤型产品，因此在高生产量需求的场合，或存在IPA(异丙醇)的干燥蒸汽，传统微型光电传感器难以安装的环境中也可以使用

目标设备：清洗设备、CMP化学研磨设备

端口升降时的定位检测 (耐热环境)

耐热温度为+100℃，可在热扩散炉的高温环境下使用 

目标设备：扩散炉、立式炉

光纤一览

(注1) 请注意，根据末端处理的不同，自由裁切光纤的检测距离最多可缩短20%

(注1):工作环境温度为干燥状态下的值。在潮湿环境下，工作环境温度会有所不同。高湿度85% RH时，工作环境温度为- 10-+60℃。工作环境温度超过+60℃时，为干热规格。